Félvezetőtechnológiai laboratórium

Class 1000 (ISO 6) és Class 10000 (ISO 7) tisztatéri laboratórium 2-3 inch-es szilícium szelettechnológiával diódák, MOS áramkörök, érzékelők, újszerű eszközök, mikrofluidika és napelemstruktúrák kialakítására. Rendelkezésre álló technológiai lépések: fotolitográfia (1 um felbontás, kétoldalas illesztés), nedveskémia (tisztítás, izotróp és anizotróp marás), felületkezelés (O2, N2, Ar plazma), magashőmérsékletű folyamatok (oxidáció, adalékdiffúzió, hőkezelés), vákuumgőzölés (Al, Au, Ag, Ni, Ti, Cu), RF porlasztás (Pt, Pd, Ti, V, Ta, Al, Cu, Ag, Mo, Fe, Ni, SnO2, ZnO, Si, SiC, Sn-In, SiO2, Si3N4, Al2O3), centrifugás rétegfelvitel (SiO2, PDMS, SU-8), szitanyomtatás (Al, Ag). A laboratórium továbbá rendelkezik az előállított minták és eszközök minősítésére szolgáló eszközökkel: optikai mikroszkópok, SEM, mechanikus profilométer, terjedési ellenállásmérés, SPV és rezgőkondenzátoros felületi potenciáltérképezés, CV mérés, illetve projektspecifikus, egyedi mérési összeállítások, mint pl. napelemminősítő rendszerek (I-V és SR).

Főbb szolgáltatások

A laboratórium főbb szolgáltatásai az alábbiak:

• Tisztatéri szolgáltatások
• Egyedi chip tokozás és bondolás
• Félvezető eszközök termikus vizsgálata
• LED-tokok kombinált termikus és radiometriai/fotometriai mérése
• IC, MEMS, Lab-on-a-Chip, FPGA, PCB tervezési tanácsadás és konzultáció (mentoring)
• Digitális és analóg áramkör (IC) tervezés
• Elektronikai/űrelektronikai rendszerek megbízhatósági kérdéseivel kapcsolatos mérések, konzultáció
• Tervezőrendszerek, CAE szoftverek használatának oktatása

A szolgáltatások igénybevétele

A laboratórium adott szabályozás szerint, lehetőséget biztosít külső használók számára a K+F és az oktatási infrastruktúra használatára, valamint a kutatói és az oktatói gárda szakértelmének igénybevételére. A hozzáférés intézményen belüli és projektpartnereknek, indokolt esetben költségek megtérítésével, külső felhasználóknak a BME szabályzatai szerinti megállapodások alapján lehetséges. Az igénybevétel általános elvei tartalmazzák a kutatások során elvárható etikus viselkedés alapelveit, a személyek és vagyoni tárgyak biztonságára vonatkozó alapelveket, a kutatási és oktatási tevékenységek lehatárolását, és az ezen tevékenységekre vonatkozó irányelveket, a megbízási szerződés alapján végzett (nem projektpartnerként, vagy szélesebb együttműködési megállapodás keretében végzett) kutatási, fejlesztési és oktatási szolgáltatások díjszabásának alapelveit.