Félvezetők fizikája és technológiája, félvezető alapú elektronikus eszközök, ezen belül napelemek, érzékelők, termikus elektromos aktív eszközök megvalósítása, modellezése, méréstechnikájának fejlesztése. Napelemcellák és modulok modellezése, koncentrátoros napelemek integrált hűtése, Si-perovszkit tandem napelemszerkezetek vizsgálata.
Tisztatéri laboratórium (Class 6, kétoldalas litográfia, nagy tisztaságú hőkezelés 1350 °C-ig, gyorshőkezelés, kémiai megmunkáló állomás, stb.) + kültérben wafer darabolás, beültetés, huzalkötés • Rétegleválasztó berendezések (katódporlasztás, vákuumgőzölés) • Elektronmikroszkóp/elektronsugaras litográfia • Félvezetőtechnológiaminősítő mérések berendezései • Emissziós mikroszkóp • Rezgőkondenzátoros potenciál-/ felületi fotofeszültség térképezés • Napelemes méréstechnika (napszimulátor, elektromos mérőberendezések)
NKFI/OTKA pályázatok
University of Oulu • Technische Hochschule Ulm • TU Tallin
Semilab Zrt